mems属于哪个行业？
微型电机用于各种控制元件，如开关、风速计、指示灯、计时器、蜂鸣器、精密轴承等。
MEMS传感器属于芯片技术，是一种集成在芯片上的传感器。它不仅可以感知物理量的变化，甚至可以感知分子和原子的振动和化学反应，在工业、汽车、环境、医疗等研究领域广泛应用。
MEMS工艺是一种新型的芯片制造工艺，具有高度集成、体积小、比常规芯片成本低的显著优势，在技术层面彻底改变了传统半导体工艺。它不仅适用于传统集成电路，而且将引发一场新的信息产业革命。所谓MEMS（英文全称为：MicroElectroMechanicalSystem，直译为微型机电系统），是由实时监测、控制、执行三大部分组成，它是由传感器（传感器技术）元件、执行器（自动控制技术）、通信传输技术）和计算机（计算机技术）四部分组成。它具有三个重要特性：（1）微型化：微处理器（MobileProcesor）由几百根通道（引脚）和几十亿个晶体管组成的巨大信息处理系统，缩小到方寸之间，集成在一块小小的硅片上。（2）高度集成：将多个传感器、执行器、通信模块及其它部件集成在一块硅片上，形成完整的微型系统，向更高的自动化程度迈进。（3）系统性：传统传感器往往是单一功能的（如：温度传感器），而MEMS集成系统可以感知包括力、姿态、运动、化学、生物、指纹、视觉、听觉等多种信息，还可以执行诸如位移、变形、开关、操纵等指令，具有灵活性、可扩展性。